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MICROTECNOLOGÍA DIARIO DE UN PROCESO

ACERO LEAL, MARÍA CRUZ / PLAZA PLAZA, JOSÉ ANTONIO / LORA-TAMAYO D'OCÓN, EMILIO / ESTEVE TINTÓ, JAUME

El objetivo de este libro es divulgar las técnicas más utilizadas para fabricar microsistemas basados en silicio. La novedad que aporta este trabajo es describir y mostrar detalladamente el proceso de fabricación de un Microsistema en una Sala Blanca. En la primera parte del libro se hace una introducción teórica a los acelerómetros en general y a los acelerómetros piezorresist...

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